Micro Inspection
System
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- MIS系列中的桌上型掃描電子顯微鏡, 專為快速檢測多元樣品型態, 所設計的結構量測/材料分析儀器
- 體積小, 低廠務需求, 換樣品快速, 操作簡單
- 推薦產業: 微奈米材料, 精密製造, 電子元件, 積體電路封裝
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- 六硼化鑭(LaB6)單晶體電子槍, 高解析長壽命
- 標配BSD/SED雙偵測器, 可選配STEM掃描穿透偵測器
- 獨特直接液態檢測套件, 可分析粒子成份/粒徑
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