[經濟日報]報導 : MIT電子顯微鏡大突破 台灣電鏡竹科開幕

台灣電鏡儀器這款新規格產品，突破過去電子顯微鏡無法觀察含水樣品的限制，領先同時搭載掃描式與穿透式的桌上型電子顯微鏡，能對於精密零件掃描或複雜的化學製程動態過程進行檢測，並大為降低建置奈微米分析設備成本，為產業提供全新的解決方案。

台灣電鏡董事長林俊吉表示，台灣電鏡延伸清華大學電鏡團隊的核心技術，並在工研院創新育成的加持下，漢民科技在半導體設備的開發管理與服務經驗，將在核心規格與創新功能上不斷努力研發，並以液態檢測電鏡領航專家自詡，訂定目標為全球產業提供40奈米以下液體粒子檢出與濕式製程監控的優勢技術，提供最具性價比的小型電子束檢測設備。

工研院協理段家瑞表示，工研院積極推動以科技創新創業來協助產業轉型優化，四年前看到充滿潛力的清大電鏡團隊，看準傳統電子顯微鏡有體積龐大、售價高的缺點，希望能運用自身的關鍵技術勇敢逐夢，投入桌上型電子顯微鏡的產業市場。工研院樂見這樣潛力的創新，將自有的「流體輸送控制」與「光學顯微」技術與其結合以增加其對液態電子束分析上的能量，新創出能在液態下連續檢測以及結合螢光共顯微的嶄新功能，並獲得第十二屆國家新創獎。

此外，透過工研院創新工業技術移轉股份有限公司（ITIC）的挹注，促使這些關鍵技術與潛力的創新能夠真正商品化，完成創業的最後一哩路。衷心的期望台灣電鏡與工研院的合作，能夠成為學術界投入創業的典範，進而為台灣高科技產業注入更多創意新血。

發表的EM200S是第一台搭載掃描式與掃描穿透式雙影像偵測器（SEM／STEM）的桌上型電子顯微鏡，結合特殊的直接液態檢測技術（採用對電子束透明的特殊薄膜，將液體或揮發性軟物質保存於真空中），可同時滿足微米結構掃描量測與奈米粒子穿透分析，一台設備可檢測從塊材、粉體、膠體乃致流體的廣泛樣品類型，體積卻是傳統電子顯微鏡的五分之一，並深具價格優勢，在半導體與電子製程檢測、生技製藥與醫材檢測與化工塗料檢測上皆有廣泛的應用。

這款最新開發的 DirectLiquid 直接液態檢測裝置，具備可調整液體下景深距離的功能，是第一個可實現微奈米金屬蝕刻即時觀測的產品，搭配自主開發的分析軟體，對於面板／電子業的金屬線寬蝕刻或電鍍等精密製程是非常有價值的解決方案。