[經濟日報]報導 : 台灣電鏡攻顯微鏡 液態技術練出「火眼金睛」

台灣電鏡儀器2017年進駐竹科矽導研發中心，推出新一代桌上型電子顯微鏡EM200S。這款新產品突破過去電子顯微鏡無法觀察含水樣品的限制，同時搭載掃描式與穿透式的桌上型電子顯微鏡，能對精密零件掃描或複雜的化學製程動態過程進行檢測，大為降低建置奈微米分析設備成本，提供更創新有效的解決方案。

台灣電鏡董事長林俊吉表示，在工研院創新育成的加持下，鏈結漢民科技在半導體設備的開發管理與服務經驗，將在核心規格與創新功能上不斷努力研發，並以「液態檢測電鏡領航專家」自詡，訂定目標為全球產業提供「連續液體粒子檢測與先進材料臨場觀察」與「濕式製程監控」的優勢技術，並供應最具性價比的小型電子束檢測設備。

電子顯微鏡是許多科學研究和工業製程的重要基礎設備，可提供較一般光學顯微鏡更高的放大倍率，獲取更清晰的影像，掌握物質的實際狀況與變化。然而，電子顯微鏡技術長期為國外大廠所把持，台灣電鏡儀器在掌握小型化及液態電子束等技術後，逐步建立產品特色。

林俊吉表示，台灣電鏡儀器結合產、政、學、研的能量，進駐竹科以就近服務科技業，協助產業解決問題和提高品質管理為定位，要創造獨特的利基市場。

2013年，台灣電鏡儀器以新創公司之姿進駐工研院育成中心，除了與工研院展開技術合作之外，更獲得工研院創新公司的初始投資。雙方更以共同合作開發的「流體螢光共顯微電子顯微鏡」技術，一舉獲得第12屆國家新創獎。

台灣電鏡儀器產品不論在規格或影像品質上，都已接近市場領先者。未來除繼續提升技術外，還要在市場業務與行銷推廣上著力。

桌上型液態電鏡技術的特色，是小型化、成本低，以業界需求為主要出發點，成為市場競爭一大優勢。台灣電鏡最新推出的桌上型電子顯微鏡「EM200S」，是針對工業使用的桌上型電子顯微鏡，同時具備掃描與穿透功能，除了能夠檢測元素的組成，還能運用軟體進行定量分析。最特別的地方在於能觀察檢測液態的樣品與特徵，包括運用電子光學設計與非真空技術，樣品不需處於真空狀態，直接觀測維持在濕潤、懸浮或流動性質的液相物料，而且只需這一台電鏡儀器就能檢測塊材、粉體、膠體、流體等多樣類型的樣品。

以往液態電子顯微鏡應用多以學界研究為主，主要限於大型穿透電子顯微鏡，與所搭載的電子顯微鏡系統整合度較低。台灣電鏡儀器自主開發的液態電鏡技術，能夠小型化、大幅降低成本；輔以業界需求設計整合軟體的檢測方案，成為市場競爭的一大優勢。已為客戶提供液態顯微電鏡產品及客製性分析服務，包括：乳液或流體狀的化妝保養品，或是清潔劑等民生用品，協助廠商掌握產品品質。